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微米和纳米加工制造仪主要加工技术讲解

点击次数:73 发布时间:2021-08-19
   微米和纳米加工制造仪采用了一种非常成熟的设计,充分考虑到其性能、成本和多样性。模块化设计理念允许在不同的技术中使用通用型的机械元件/电子元件,从而保证了使用方便和成本低廉。该仪器完全有能力成为快速加工或新研究的实验验证工具。

  微米和纳米加工制造仪可应用的领域包括表面化学、材料科学、工业应用、半导体器件的电子元件制造和生物固定和生物传感应用等领域。
 
  微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术,涉及领域广、多学科交叉融合,其主要的发展方向是微纳器件与系统(MEMS和NEMS)。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列专用技术,研制微型传感器、微型执行器等器件和系统,具有微型化、批量化、成本低的鲜明特点,对现代生活、生产产生了巨大的促进作用,并催生了一批新兴产业。
 
  微纳加工技术是先进制造的重要组成部分,是衡量国家高等制造业水平的标志之一,具有多学科交叉性和制造要素极度性的特点,在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障国防安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。显然,微纳加工技术与微电子工艺技术有密切关系。
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